关于AEMD平台2月26日-3月1日暂停西区净化室使用的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

因平台西区微电子楼净化室空调新风机组冷热水盘管更换，拟定从2021.2.26（星期五）13:00至2021.3.1(星期一)17:00全天24h关闭空调新风机组，该时间段内西区净化室将停止使用，不接受预约实验；对于已提前安排在该时段内的西区净化室预约单，请直接联系相应的工艺老师重新确认实验时间。该时段内的西区非净化室区域设备（SEM设备、封装设备）不受影响，可正常接受预约实验。预计2021.3.2（星期二）恢复西区净化室使用开放实验，届时会提前发布通知。

给您带来不便，敬请谅解！

先进电子材料与器件校级平台

2021年2月25日