关于AEMD平台西区因更换特气源暂停部分设备预约的通知
尊敬的各位用户老师、同学:
AEMD平台于2020年07月30日16:00起开始更换部分特气源,除氧气、氩气、氦气、氮气和CDA外,其他所有气体全部下线,故部分设备暂停预约。暂停预约设备清单如下表:
设备编号 | 设备名称 | 设备地点 |
WF2NDSE02 | NMC深硅刻蚀机 | 西区薄膜II区 |
WF2SDSE01 | SPTS硅刻蚀机 | 西区薄膜II区 |
WF2SRIE01 | Sentech金属刻蚀机 | 西区薄膜II区 |
WF2OCVD01 | 等离子增强化学气相沉积(PECVD) | 西区薄膜II区 |
WF2NRIE02 | NMC介质刻蚀机 | 西区薄膜II区 |
WF2PCVD01 | 电感耦合等离子体化学气相沉积设备 | 西区薄膜II区 |
WDFSLPF01 | LPCVD(非晶/多晶硅沉积) | 西区炉管区 |
WDFSLPF02 | LPCVD(氮化硅薄膜沉积 | 西区炉管区 |
待气体恢复后,该部分设备再恢复预约,届时再通知;请各位师生提前做好实验安排,自行调整实验进度。给您带来不便,敬请谅解!
先进电子材料与器件校级平台
2020年7月31日