AEMD平台举行2019年终总结

2019年12月23日与12月26日，AEMD举行了两场年终总结会议。AEMD工艺、集成、研发、厂务和行政等部门的老师和主要负责人都参加了此次总结。各部门老师依次陈述了自己2019年的工作情况，分析了这一年工作中的成就和不足，并展望了未来的工作计划。

2019年，AEMD服务的校内研究团队数量、校内用户数量、服务科研项目、加工测试结算费用都实现了稳定大幅增长。设备方面，AEMD于2019年完成了等离子增强原子层沉积、切割机、SU8去胶机等10台设备的安装验收，并购置了专业PDK开发软件。通过向用户推介和培训等方式，这些设备已经被大多数用户所熟知，并正常服务科研活动。为了使平台的管理更为科学化、规范化，AEMD启动了专业质量管理体系建设工作，并在2019年组织开展了系列的专业培训学习。

AEMD在平台标准工艺及关键工艺技术研发方面取得了多项进展。硅基光电子方面的锗探测器、MZI调制器和先进封装方面的TSV铜互连都取得了突破性进展；新型介质材料沉积工艺、氮化硅窗格（Membrane）工艺开发顺利完成；启动了氮化硅光波导、LN调制器、DOE等工艺的开发。

在支撑校内外科研的同时，AEMD老师积极总结与发表工作成果，共发表科研技术论文14篇、申请专利5项。并获得学校多项荣誉，例如2019年度校决策咨询项目实验技术类1项、管理服务提名奖1名、卓越实验师2名、优秀党员1名等。

社会活动方面，AEMD积极参加上海科技节，向社会开展科普教育，尤其是为青少年埋下一颗探索世界、热爱科学的种子。此次活动得到了新民晚报、文汇报等多家纸质媒体和网络媒体的报道，广泛的社会影响促进了全社会对先进加工的了解和关注。由于在此次活动中的突出表现，AEMD平台荣获“2019年上海科技节先进集体”称号。

回顾2019年，AEMD平台感谢所有领导、用户、厂产的支持。展望新的一年，我们将更加努力地服务、创新，期待为我校和我国的微纳科学和其他领域的基础科研做出更多贡献。