基恩士（KEYENCE）免费向AEMD提供显微镜测试

2019年1月4日，基恩士（中国）有限公司免费向AEMD平台内部及平台用户提供了基恩士超景深显微镜VHX-6000和基恩士激光共聚焦显微镜VK-X1000两台设备的测试。多位相关学科的老师及同学积极参与并提供了测试样品。

基恩士（KEYENCE）是工业自动化领域传感器和测量仪器的主要供应商，使用企业超过一万家。其产品超景深显微镜VHX-6000是其最新一代数码显微系统，可以实现0.1到5000倍的倍率，提供大景深与先进的测量功能，适合进行检验和故障分析。通过全方位多功能照明提供立体的观测效果；可以自动计数异物来做清洁度分析；可以通过切割过多的光线反射去除反射，得到更优质的图像。基恩士激光共聚焦显微镜VK-X1000采用了针孔共聚焦光学系统，显示分辨率可以达到120nm，可以获得整个视野都能聚焦的高清晰图像。可以构建 3D 图像，z轴精度控制可达到0.5nm。对任何类型的物体都可以进行非接触式 3D 测量和 3D 分析。

AEMD平台是致力于先进微纳材料与器件加工科研服务的校级公共平台。为更好地服务于学校各科研团队，AEMD平台致力于不断引进最先进的半导体加工测量设备和工艺，提升我校整体科研能力与水平。此次测试交流是平台采购新设备的前期准备工作。

图1.AEMD平台内部及平台用户积极参加基恩士两台设备的测试

图2.使用激光共聚焦显微镜VK-X1000拍摄的深硅刻蚀槽的三维立体图像（样品由AEMD提供）

图3.使用超景深显微镜VHX-6000拍摄的芯片引脚照片（芯片由KEYENCE提供）