AEMD将建成硅基集成光电子器件公共研发服务平台

经过上海专业技术服务平台组织考察、审核，AEMD平台列入2018年度上海研发公共服务平台建设计划，将建成硅基集成光电子器件公共研发服务平台。 上海研发公共服务平台致力于推动上海市科技资源公共服务，打造公益性科技公共服务平台，促进仪器信息公开，提高使用效率和减少重复购置。截至2017年底，上海研发公共服务平台汇集了各类加盟机构1412家、国家级研发基地63家、国家级检测中心34家、市级重点实验室117家、市级工程技术研究中心247家、和专业技术服务平台180家，共拥有30万元以上大型科学仪器11574台（套）。 先进电子材料与器件校级平台（AEMD）创建于2012年，于2014年11月6日起正式对外运行，是为全校科研工作提供服务的大型仪器设备校级共享平台，具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。AEMD平台在上海交通大学各级领导的大力支持下，成为相关学科依托发展的重要支撑力，同时也为科研工作提供完善的保障。平台目前有电子束曝光系统、双束聚焦离子束系统等共48台（套）纳入上海研发公共服务平台。 此次评选共18个平台入选。此次入选将推进平台在人、财、物等资源的合理配制，做好整合和支撑，提高平台的共性技术研发及对外服务能力，充分发挥平台对行业技术进步的引领推动作用。