此次AEMD平台有王英、瞿敏妮、沈赟靓三位老师参会,并作讲座报告《聚焦离子束(FIB)双束系统在微纳加工领域中的应用》。汇报了AEMD平台基于微纳加工平台的FIB双束系统,充分结合各类微纳加工手段,在微纳加工、无掩模图形加工、三维纳米结构、芯片修复等领域的应用成果。同时探讨了该技术目前面临的一些挑战。并提交了四个作品参加最佳图片奖评选:利用掏空工艺过程监控制作的作品《智慧之眼》,利用铌酸锂圆盘抛光及周期性结构刻蚀加工制作的《Trick or Treat》,利用铌酸锂圆盘抛光及周期性结构刻蚀加工制作的作品《BATMAN》,和在剖开毛细玻璃管的尖端观察内部蒸镀的金属颗粒时制作的作品《玻璃管上的舞者》。其中《智慧之眼》获得图片展二等奖,《Trick or Treat》,《BATMAN》,和《玻璃管上的舞者》获得图片展纪念奖。
FIB(聚焦离子束,Focused Ion beam)是将液态金属(大多数FIB都用Ga)离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像,取得与SEM(扫描电子显微镜)相似的成像。同时用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工。还可以以物理溅射的方式搭配化学气体反应,有选择性地沉积金属层。目前先进的FIB系统为双束,即离子束和电子束(FIB-SEM)系统,也就是在SEM微观成像实时观察下,用离子束进行微纳加工,具有离子注入、离子溅射、TEM试样制备等多种功能。聚焦离子束(Focused ion beam, FIB)凭借其独特的微/纳尺度加工制造能力和优势,已成为多领域科技工作者不可或缺的工具之一。
AEMD平台此次参会了解并学习了FIB技术、设备及其配套技术的最新进展,宣传了平台的工艺能力和科研能力,加强了平台与各高校、科研院所的微纳加工及表征平台之间的技术合作和交流研究。