AEMD平台老师的FIB创意图片作品《智慧之眼》等获奖

2018年11月19日，在中科院物理研究所举办的2018年第九届中国FIB技术及学术交流研讨会上，AEMD平台瞿敏妮、沈赟靓、王英三位老师的创意图片作品《智慧之眼》获得FIB图片展二等奖。 中国FIB技术及学术交流研讨会是由中国电子显微镜学会FIB专业委员会组织举办的全国性FIB领域专业技术于学术交流研讨会，会议旨在促进FIB技术领域学者的沟通、交流与合作，实现信息共享，提高我国科技人员在该领域的专业技术能力和应用研究水平。该会议从首届2010年开始已经连续成功举办了八届，取得非常好的技术和学术交流效果，也得到越来越多国内各高校和科研院所及国际知名仪器设备公司的高度关注和支持。本届会议设置了最佳报告奖，最佳poster奖，最佳图片奖。 此次AEMD平台有王英、瞿敏妮、沈赟靓三位老师参会，并作讲座报告《聚焦离子束（FIB）双束系统在微纳加工领域中的应用》。汇报了AEMD平台基于微纳加工平台的FIB双束系统，充分结合各类微纳加工手段，在微纳加工、无掩模图形加工、三维纳米结构、芯片修复等领域的应用成果。同时探讨了该技术目前面临的一些挑战。并提交了四个作品参加最佳图片奖评选：利用掏空工艺过程监控制作的作品《智慧之眼》，利用铌酸锂圆盘抛光及周期性结构刻蚀加工制作的《Trick or Treat》，利用铌酸锂圆盘抛光及周期性结构刻蚀加工制作的作品《BATMAN》，和在剖开毛细玻璃管的尖端观察内部蒸镀的金属颗粒时制作的作品《玻璃管上的舞者》。其中《智慧之眼》获得图片展二等奖，《Trick or Treat》，《BATMAN》，和《玻璃管上的舞者》获得图片展纪念奖。 FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam)是将液态金属(大多数FIB都用Ga)离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像，取得与SEM（扫描电子显微镜）相似的成像。同时用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工。还可以以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性地沉积金属层。目前先进的FIB系统为双束，即离子束和电子束(FIB-SEM)系统，也就是在SEM微观成像实时观察下，用离子束进行微纳加工，具有离子注入、离子溅射、TEM试样制备等多种功能。聚焦离子束（Focused ion beam, FIB）凭借其独特的微/纳尺度加工制造能力和优势，已成为多领域科技工作者不可或缺的工具之一。 AEMD平台此次参会了解并学习了FIB技术、设备及其配套技术的最新进展，宣传了平台的工艺能力和科研能力，加强了平台与各高校、科研院所的微纳加工及表征平台之间的技术合作和交流研究。