关于AEMD平台Mini RCA清洗台开放通告
尊敬的各位用户,
为了进一步给广大用户提供更加标准的清洗工艺,AEMD新增一台Mini RCA清洗台,放置于西区净化室湿法一区。
设备构造:
该设备共提供2套标准RCA工艺槽体(槽体分为3寸和4寸,分别设置4个工艺槽)。槽体设置:SPM槽(H2SO4和H2O2), HPM槽(盐酸、双氧水和水),APM槽(氨水、双氧水和水),QDR水槽以及DHF槽。
设备功能:
该设备槽体有石英材料构成,槽体四面贴膜加热,可以耐高温,耐腐蚀,并提供加热控温功能,能更好的发挥化学品的特性,起到更好的清洗效果。
样品要求:
该设备兼容4寸,3寸以及以下尺寸的小样品,用于前段无机清洗,禁止任何金属样品以及任何附带金属薄膜的样品。
设备使用:
由于该设备操作相对复杂,用户预约后由湿法区工作人员单独进行操作和培训。
设备收费:
该设备启用后,无机小烧杯的预约入口会予以取消,该RCA收费标准见附件。2018年12月31日以前预约该设备提供优惠费率。
附件:MiniRCA收费标准
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二零一八年十月二十九日