AEMD平台与SENTECH仪器（德国）有限公司成功

举办等离子工艺技术研讨会

2018年5月31日，先进电子材料与器件平台与SENTECH仪器（德国）有限公司在上海交通大学闵行校区成功举办等离子工艺技术研讨会。

在此次研讨会中AEMD平台刻蚀设备负责人刘民老师向复旦大学、上海和辉光电、SanDisk、上海科技大学等多家校外单位分享了该设备在多种薄膜刻蚀工艺中的应用。同时，SENTECH德国总部资深经理Fridrich Witek、中国区总经理周建民、全球市场销售经理 Bernd Gruska、德国等离子应用实验室负责人Marcel Schulze等人也一同交流学习SENTECH公司最新研究成果，包括感应耦合离子刻蚀和反应离子刻蚀在光学、传感器和MEMS器件中的应用；化合物半导体材料的ICP刻蚀；原子层沉积在光学和功率器件中的应用；等离子工艺中的终点检测系统等相关众多方向的应用。提问环节讨论激烈，参会的各位老师和学生均表示收益良多。