【AEMD系列技术研讨会】

Polytec激光测振技术配合显微系统在

MEMS领域的动态测试方案

各位老师、同学：

2018年6月5日星期二下午14:00在微电子大楼401会议室，召开AEMD系列技术研讨会——Polytec激光测振技术配合显微系统在MEMS领域的动态测试方案，相关信息如下。欢迎全校相关学科的老师与同学参加！

时间：6月5日（周二）下午14：00-15：30

地点：微电子大楼401会议室

 

主题：

Polytec激光测振技术配合显微系统在MEMS领域的动态测试方案

演讲由德国总部的新加坡MEMS背景  谢先生  全程中文交流，欢迎大家过来。

主要测试部件：

PCB板上的多个晶圆，焊接支脚；

各类传感器及MEMS核心部件，比如悬臂梁，陀螺，梳齿，微镜，射频系统等等；

得到什么结果：

振动位移和速度值；

频率特性；

一个区域内的ODS(operation deflection shape俗称工作形变)；

动态影像，图片；

数据可靠性：

Polytec的激光多普勒测振技术是在光学测量振动和动态特性方面十分独到并且分辨率极高的技术。

在振动行业，全球的计量机构都使用Polytec激光测振仪作为振动的最高溯源标准。

国内外一类，二类院校和科研院所都已拥有Polytec激光测振仪为先进技术能力的象征，

并且在MEMS领域及其他领域，论文普遍涉及使用Polytec激光测振仪的测试数据作为重要依据。