关于SENTECH仪器等离子工艺技术研讨会的通知
SENTECH仪器公司——德国知名等离子工艺设备和薄膜量测设备制造商，将于二零一八年五月三十一日在上海交通大学闵行校区举行等离子工艺技术研讨会。
相关信息详见附件。请有兴趣参加的各位用户直接在https://www.wjx.top/jq/22300143.aspx报名并回复电邮至info@sentech-instruments.com.cn
此次研讨会主题包括：
– 化合物半导体的低损伤刻蚀
– 传感器，光学器件和MEMS的深刻蚀应用
– 低温，低应力和低损伤的介质膜沉积
– 栅极氧化物，电子器件钝化层和光学应用的原子层沉积
– 等离子工艺的自动化运作