关于AEMD平台开设“先进微纳加工技术与应用”课程通知

尊敬的各位用户老师、学生：

为让各位用户在科研中能更恰当、合理地选择相关的工艺方法与分析手段进行微纳结构、器件与芯片的设计、制备与测试，AEMD平台特开设了“先进微纳加工技术与应用”课程（课程编号：ES26008），由平台程秀兰研究员主讲，旨在向相关研究领域（微电子、纳米科学、光电子学、物理、化学、生物工程、仪器、机械工程、材料学等专业）的学生推广介绍最先进的主流的微纳加工技术与分析方法。欢迎各年级研究生、博士生报名该课程，也欢迎各位用户老师旁听课程。该课程上课时间为：每周四下午13:00-15:40，上课地点：微电子大楼105阶梯教室。

课程简介如下：

本课程拟对目前科研领域主流先进微纳加工技术进行较为全面的介绍，重点讲述各工艺技术的原理、工艺流程与参数、工艺优缺点、工艺要点及其在微纳加工中的应用。课程首先对微纳加工净化室和各种基片及薄膜材料进行了简要介绍，而后对各种先进的微纳加工技术进行了介绍，涉及普通光学光刻、无掩模光学光刻、电子束光刻、纳米压印、聚焦离子束等微纳图形制备技术；图形化沉积、图形化刻蚀、模板复制图形转移技术；热氧化、PVD、CVD及化学镀、电镀等薄膜生长与沉积技术；扩散与离子注入掺杂及退火技术；湿法清洗、刻蚀与干燥技术；牺牲层工艺、悬空结构、黏着释放、微流体通道等微纳结构获得与释放技术。最后对芯片与器件封装与芯片键合技术，以及可视化显微分析、接触式显微分析、化学成份分析、厚度与深度分析、应力分析、光学与电学性能分析等材料、器件与结构表征技术进行了介绍。

本课程设计为一门面向全校研究生的选修课程，旨在向相关研究领域（微电子、纳米科学、光电子学、物理、化学、生物工程、仪器、机械工程、材料学等专业）的学生推广介绍最先进的主流的微纳加工技术与分析方法，以促进他们在其相关科研工作中能恰当地选择相关的工艺方法与分析手段进行相关结构、器件与芯片的设计、制备与测试。本课程的涉及的绝大部分微纳加工技术与分析手段在我校先进电子材料与器件校级平台（AEMD平台）均有相应的设备做技术支撑。

先进电子材料与器件校级平台

二零一七年十二月二十六日