关于SPTS深硅刻蚀设备恢复对外开放使用的通知

        AEMD平台西区SPTS深硅刻蚀设备已完成维护恢复对外开放使用。在此期间，给您带来不便，还请见谅！感谢您对AEMD平台的关注！

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二零一六年一月八日