上海交通大学先进电子材料与器件校级平台正式运行
11月6日上午,上海交通大学先进电子材料与器件校级平台(以下简称“AEMD平台”)正式运行典礼在上海交通大学闵行校区举行。上海交通大学常务副校长林忠钦、上海市研发公共服务平台管理中心副主任朱悦、上海交通大学原副校长盛焕烨等领导出席典礼。典礼由电子信息与电气工程学院院长毛军发主持。
林忠钦致欢迎辞。他指出,建立“AEMD平台”旨在充分利用上海交大大型仪器,提升交大整体科研水平,并为跨学科交叉研究、国内外合作交流提供有力的技术支撑,也为高层次的人才培养提供良好的实践基地。林忠钦对“AEMD平台”已取得的成果给予高度肯定,并对平台未来的发展寄予殷切期望。
先进电子材料与器件校级平台主任苏翼凯、平台常务副主任程秀兰作了平台整体介绍,使各位来宾对“AEMD平台”的总体情况有了大致了解,并向各位来宾在“AEMD平台”建设期间给予的大力支持致以诚挚的感谢。
专家代表、国家02专项专家组专家赵晋荣,供应商代表、卡尔蔡司上海管理有限公司显微镜部副总裁张育薪,以及作为用户代表的IEEE Fellow、美国真空协会Fellow、上海交通大学讲席教授黄惠良分别作嘉宾致辞。
林忠钦和朱悦一同为“AEMD平台”揭牌。与会领导及来宾参观了“AEMD平台”实验室,平台组织开展了学科建设研讨会、新闻发布会以及特邀学术报告会,反响热烈。
据悉,特邀出席的还有来自校外兄弟科研单位的各位专家,包括国家02专项专家组专家兼北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司总经理赵晋荣、中科院微电子所微光刻专家陈宝钦、中科院上海微系统所微系统制造工艺平台主管戈肖鸿、中科院技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室研究员林春等。此外,“AEMD平台”建设单位和供应商单位也列席参加。
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