关于AEMD平台西区Sentech金属刻蚀机部分功能恢复对外开放使用的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台西区Sentech金属刻蚀机（设备编号：WF2SRIE01）已完成设备移机（至东区薄膜Ⅲ区），目前，除氯气、三氯化硼和溴化氢三种气体工艺尚未恢复外，其余气体工艺已全部恢复并对外开放使用。AEMD平台东区实验室位于陈炜文楼一号楼一楼。

此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注。

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2024年11月14日