关于AEMD平台西区Beneq热型/等离子体增强型原子层沉积设备部分功能维护的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台西区Beneq热型/等离子增强型原子层沉积设备（设备编号：WF1BALD01），由于PE射频模块需要保养维护，故机台目前PE法相关工艺将暂时停止预约服务，热法工艺仍可正常预约加工。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。

给您带来不便，敬请谅解！

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2024年4月15日