【AEMD平台微纳技术系列讲座】
第十四讲 | 微纳加工中的电镀工艺及应用实例
–AEMD平台微纳技术系列讲座
【讲座主题】第十四讲 | 微纳加工中的电镀工艺及应用实例
【讲座时间】2022年7月5日(周二) 19:00-20:30
【报告人】惠宇平(苏斯贸易(上海)有限公司,售后支持和应用总监)
【讲座内容】电镀工艺在集成电路制造中有着广泛的应用,尤其是在芯片封装和MEMS器件制造中的LIGA,advanced packaging,和TSV深孔加工等。讲座探讨多种金属电镀的工艺原理,介绍电镀在微纳加工中的应用,重点讲述镍铁合金工艺和铜TSV工艺。
7月8日 第十五讲 | SEM与SEM base Nanoprober在半导体器件中的应用及制样方法(19:00~20:30)