关于AEMD平台西区PECVD设备维护的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台西区等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备维护，现暂停使用，给您带来不便，敬请谅解！相关已预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学，谢谢！

先进电子材料与器件校级平台

二零一九年五月二十八日