在校设备处和中招招标公司的主持下，AEMD平台于2012年12月完成了以下11台大型设备的招标工作，现公式中标通知如下：

一、原子力显微镜 1套
中标单位：布鲁克（北京）科技有限公司；
二、卧式低压化学气相沉积炉管检控系统 1套
中标单位：SVCS Process Innovation s.r.o.；
三、卧式氧化扩散炉管系统 1套
中标单位：SVCS Process Innovation s.r.o.；
四、反应离子式深硅刻蚀系统 1套
中标单位：Laserwort Limited；
五、反应离子刻蚀机（用于金属薄膜） 1套
中标单位：SENTECH 仪器（德国）有限公司；
六、反应离子刻蚀机（用于介质薄膜） 1套
中标单位：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司；
七、等离子增强化学气相沉积系统 1套
中标单位：英国牛津仪器等离子技术公司；
八、多靶磁控溅射镀膜系统 1套
中标单位：DENTON VACUUM LLC；
九、电子束蒸发镀膜系统 1套
中标单位：DENTON VACUUM LLC；
十、双面对准光刻机 1套
中标单位：SUSS MicroTec Lithography GmbH；
十一、电子束光刻系统 1套
中标单位：Vistec Lithography BV。