上海交通大学先进电子材料与器件（AEMD）平台

2023年招聘启事

先进电子材料与器件（AEMD）平台创建于2012年，于2014年11月6日起正式对外运行，是为全校科研工作提供服务的大型仪器设备校级共享平台，具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。AEMD平台在学校各级领导的大力支持下，成为相关学科依托发展的重要支撑力，同时也为科研工作提供完善的保障。

AEMD平台分别座落于交大闵行校区微电子大楼一层（西区）以及综合实验楼一层（东区）（2014年8月东西区合并），实验室共有近1510m2的100级、1000级净化室，其中100级210 m2，1000级约1300m2。除此之外，平台还拥有近250m2非净化测试加工区。

平台建设有一条能对硅、玻璃和有机材料进行微纳米加工的3～6英寸半导体级实验线（西区实验室）以及一条3～4英寸非硅/MEMS微纳加工实验线（东区实验室），部分设备可实现8英寸基片加工。平台拥有电子束曝光系统、双束聚焦离子束系统、双面对准紫外光刻机（3台）、热压/紫外纳米压印系统、涂胶显影系统（3套）、微波去胶机（3台）、氧化扩散炉（5管，2套）、多晶硅/氮化硅LPCVD炉（2管）、快速热处理设备、湿法清洗刻蚀台（12台套）、多靶磁控溅射系统（4台套）、超高真空磁控溅射系统、电子束蒸发设备（2套）、离子束溅射机、离子束刻蚀机、等离子增强化学气相沉积设备、金属反应离子刻蚀设备、介质反应离子刻蚀设备、深硅刻蚀系统（2套）、微电铸/电镀系统、OLED器件实验制备系统、基片抛磨设备、砂轮切片系统、场发射扫描电镜、原子力显微镜、半导体参数测试仪（2套）、霍尔效应仪、四探针测试仪、表面轮廓仪（3台）、紫外膜厚仪等先进的微纳加工与测试设备，具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。

AEMD平台的创建提高了我校大型仪器的利用水平，并为跨学科的交叉研究、国内外的合作提供了平台，也为高层次的人才培养提供了良好的实验基地；平台也向社会相关科研机构与企业公开开放，提供相关项目合作与微纳加工服务。

 

1.招聘岗位：集成工艺实验师

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

岗位要求：

1. 微电子学与固体电子学、电子科学与技术、物理学、材料学等相关专业，硕士及以上学历；
2. 有相关半导体工作经验者优先考虑；
3. 熟悉流片工艺流程，熟练掌握cadence、allegro、L-edit, CAD等版图绘制软件及Python、C++等编程语言者优先考虑；
4. 有较强的敬业精神、创新能力及团队协作与沟通能力。

岗位职责：

1. 负责工艺集成项目咨询、评估等工作；
2. 负责管理工艺集成项目流程及流片工作；
3. 领导交办的其他相关工作。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

2.招聘岗位：集成工艺工程师助理

招聘人数：1 名

聘用方式：项目聘用

岗位要求：

1. 微电子学与固体电子学、电子科学与技术、物理学、材料学等相关专业，大专及以上学历；
2. 相关半导体工作经验者优先考虑；
3. 有较强的敬业精神和团队合作能力。

岗位职责：

1. 负责工艺集成项目及工艺追踪等流片实操工作；
2. 领导交办的其他相关工作。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

3.招聘岗位：MBE工程师

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

岗位要求：

1. 凝聚态物理学、微电子学与固体电子学、半导体物理学、功能薄膜材料与器件等相关专业硕士及以上学历；
2. 熟练使用origin绘图软件和MDI Jade软件；
3. 有MBE设备的使用和维修维护经验；
4. 能够处理解决工艺过程中出现的常见问题；
5. 有较强的责任心，服从安排。工作不拖拉，遇到问题不推卸逃避责任。

岗位职责：负责MBE设备、ALD设备的操作、工艺开发、维护维修等日常工作。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

4.招聘岗位：离子注入设备工程师

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

岗位要求：

研究生教育学历,硕士学位。

1. 微电子学与固体电子学、电子科学与技术、物理学、材料学等相关专业，硕士及以上学历；
2. 2年以上FAB离子注入设备维护经验，熟悉Varian (有Varian离子注入使用或维护经验者优先考虑)注入设备，负责离子注入设备的日常维护保养等；
3. 有较强的组织、协调与沟通能力，有良好的团队合作精神和踏实认真的工作态度；独立工作分析和解决问题的能力；
4. 身体健康，热爱科研，有较强的工作责任心。

岗位职责：

1. 负责离子注入设备的操作、工艺开发、维护维修等日常工作以及设备SOP文档的建立整理等；
2. 领导交办的其它事项。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

5.招聘岗位：离子注入工艺工程师

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

岗位要求：

本科教育学历,学士及以上学位。

1. 微电子学与固体电子学、电子科学与技术、物理学、材料学等相关专业，本科以上，硕士学位佳；
2. 三年以上半导体制造厂中束流离子注入工艺工程师经历，熟悉离子注入设备，负责离子流入标准工艺的建立与优化；有SMIT离子注入机使用或维护经验者优先考虑；
3. 具有独立判断并解决中束流离子注入机工艺问题的经验与能力；
4. 有较强的组织、协调与沟通能力，有良好的团队合作精神和踏实认真的工作态度；
5. 身体健康，热爱科研，有较强的工作责任心。

岗位职责：

1. 负责离子注入机的安装、调试、验收以及后续操作、运行与维护，制定科学可行的运维计划，做好设备运行记录；
2. 负责离子注入工艺优化与新工艺开发，开发与设备适配的工艺，减少工艺缺陷，改进工艺条件，维护工艺稳定，提升工艺成品率；
3. 完成平台离子注入设备操作、管理、培训及标准工艺流程开发、ISO标准体系建设等工作；
4. 协助设备厂务部门进行设备维修保养，保证设备的稳定性；
5. 完成平台分配的各项科研、服务任务；
6. 协助实验室其他相关工作，完成领导交办的其他任务。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

6.招聘岗位：深紫外步进式光刻(DUV Stepper)设备工程师

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

岗位要求：

本科以上学历，学士以上学位。

1. 电子科学与技术、物理、自动化、仪器、机械等相关专业，本科及以上学历；
2. 三年以上8″以上半导体制造厂DUV Stepper光刻机及Tracker全自动涂胶显影设备维护、保养与维修经验，熟悉stepper与tracker机台操作；有Canon DUV光刻机或TEL Mark8机台使用或维护经验者优先考虑；
3. 具有独立判断、分析与解决DUV Stepper和Tracker机设备故障的经验与能力；
4. 有较强的组织、协调与沟通能力，有良好的团队合作精神和踏实认真的工作态度；
5. 身体健康，热爱科研，有较强的工作责任心。

岗位职责：

1. 负责DUV光刻机及Tracker机的日常维护保养，及时解决设备故障，保证所属设备的正常运转，满足科研需求；
2. 负责所属设备废弃物、环境与卫生、安全等工作，合理设计，做到节能减排；
3. 完成学校及平台规定的各项科研、服务等任务；
4. 协助厂务部门其他工作，以及领导交办的其他相关工作。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

7.招聘岗位：深紫外步进式光刻(DUV Stepper)工艺工程师

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

岗位要求：

本科教育学历,学士及以上学位。

1. 微电子学与固体电子学、电子科学与技术、物理学、材料学等相关专业，本科及以上学历，硕士学位优先；
2. 三年以上先进半导体制造厂DUV Stepper光刻工艺及Tracker机台(尤其TEL MARK 8）全自动涂胶显影工艺操作、维护与开发经验，熟悉DUV Stepper与TEL Tracker MARK8机台原理与设备架构；
3. 具有独立解决DUV Stepper和Tracker机工艺问题的经验与能力；
4. 能熟练使用多种膜厚检测工具；
5. 有较强的组织、协调与沟通能力，有良好的团队合作精神和踏实认真的工作态度；
6. 身体健康，热爱科研，有较强的工作责任心。

岗位职责：

1. 负责DUV Stepper光刻机及Tracker机的安装、调试、验收以及后续操作、运行与维护，制定科学可行的运维计划，做好设备运行记录；
2. 负责Stepper光刻工艺技术研发，评估验证光刻材料，开发与设备适配的工艺，减少工艺缺陷，改进工艺条件，维护工艺稳定；
3. 完成平台光刻设备操作、管理、培训及标准工艺流程开发、ISO标准体系建设等工作；
4. 完成平台分配的各项科研、服务任务；
5. 协助实验室其他相关工作，完成领导交办的其他任务。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

工作地点：上海市闵行区东川路800号上海交通大学内(交大徐汇校区可坐班车直达)

联系人：宋老师
E-mail：tianxinsong[at]sjtu.edu.cn
联系地址：上海市东川路800号微电子大楼103室