上海交通大学 先进电子材料与器件(AEMD)校级平台
2019年招聘启事
上海交通大学先进电子材料与器件校级平台(AEMD)创建于2012年,于2014年11月6日起正式对外运行,是为全校师生提供微纳加工服务的大型仪器设备校级共享平台,平台具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。
AEMD平台分别座落于交大闵行校区微电子大楼一层(西区)以及综合实验楼一层(东区,2014年8月并入),实验室共有近1510m2的100级、1000级净化室,其中100级210 m2,1000级约1300m2。
平台建设有一条能对硅、玻璃和有机材料进行微纳米加工的3~6英寸半导体级实验线(西区实验室)以及一条3~4英寸非硅/MEMS微纳加工实验线(东区实验室),部分设备可实现8英寸基片加工。平台拥有电子束曝光系统(EBL)、双束聚焦离子束系统(FIB)、双面对准紫外光刻机(3台)、热压/紫外纳米压印系统、涂胶显影系统(3套)、氧化扩散炉(5管,2套)、多晶硅/氮化硅LPCVD炉(2管)、快速热处理设备(3台)、湿法清洗刻蚀台(12台套)、Ni/FeNi/Cu/Au/Sn金属微电铸/电镀系统(3台套)、多靶磁控溅射系统(4台套)、超高真空磁控溅射系统、OLED器件加工与封装系统(1台套)、等离子辅助化学气相沉积系统(PECVD,2台套)、原子层沉积系统(ALD,1台套)、金属/介质/深硅反应离子刻蚀系统(RIE,4台套)、基片抛磨设备、砂轮切片系统、场发射扫描电镜、原子力显微镜、半导体参数测试仪(2套)、霍尔效应仪、四探针测试仪、表面轮廓仪(3台)、紫外膜厚仪等先进的微纳加工与测试设备,总资产达9000多万元。
AEMD平台在上海交大各级领导和部门的大力支持下,成为支撑我校多学科发展的重要支撑平台,提高了交大大型仪器的利用水平,并为跨学科的交叉研究、国内外的合作提供了平台;平台也向社会相关科研机构与企业公开开放,提供相关项目合作与微纳加工服务。现因平台发展需要,特向社会招聘以下工作人员。
岗位名称:高层次工艺技术开发人员(专职科研人员)
招聘人数:若干
岗位要求:
1.微电子学与固体电子学、电子科学与技术、物理学、材料学等相关专业研究生学历,博士学位;
2.具有在国内外知名大学或研究机构从事微纳器件与结构(如半导体器件、光电子器件、硅基光电子器件、MEMS、微流控芯片、非硅工艺、各种微纳结构)仿真设计、工艺开发、流片验证、测试等相关教学、科研工作经历者优先考虑;
3.有较好的英语口语、阅读及书写能力;
4.有较好的团队合作能力、与人沟通协调的能力。
岗位职责:
1.完成学校及平台规定的各项科研、服务等任务;
2.完成AEMD平台先进工艺技术与标准工艺流程开发等工作;
3.领导交办的其他科研相关研究工作。
岗位名称:硅基光电子器件与芯片工艺设计套件(PDK)研发工程师
招聘人数:1人
岗位要求:
1、光电子、光通信、电路、微波、微电子、物理等相关专业,硕士及以上学历;
2、掌握Lumerical、Silvaco 等一种或多种光电子、半导体领域专业仿真设计软件以及Ledit 或Cadence/Synopsis 等专业版图设计工具,有一定编程能力为优;
3、熟悉半导体工艺流程、器件物理结构、Layout Design Rule及spice model,能根据用户及工艺的具体要求,完成PDK的仿真验证及物理验证者为优;
4、善于学习,具有较强的实验操作能力和分析能力,有较强的敬业精神、创新能力及团队合作能力;
5、有相关工作经验者优先考虑。
岗位职责:
1、负责AEMD平台硅基光电子器件与芯片相关工艺的标准器件库工艺设计套件(PDK)开发;
2、承担AEMD平台硅基光电子标准器件与芯片的设计、仿真、工艺流片、测试研究开发工作;
3、领导交办的其他研发工作。
联系人:韩老师
TEL:34207734-8009; E-mail:xiaojiahan@sjtu.edu.cn
联系地址:上海市东川路800号微电子大楼103室