上海交通大学 先进电子材料与器件（AEMD）校级平台

2021年秋季招聘启事

上海交通大学先进电子材料与器件校级平台（AEMD）创建于2012年，于2014年11月6日起正式对外运行，是为全校师生提供微纳加工服务的大型仪器设备校级共享平台，平台具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。

AEMD平台分别座落于交大闵行校区微电子大楼一层（西区）以及综合实验楼一层（东区，2014年8月并入），实验室共有近1510m²的100级、1000级净化室，其中100级210 m²，1000级约1300m²。

平台建设有一条能对硅、玻璃和有机材料进行微纳米加工的3～6英寸半导体级实验线（西区实验室）以及一条3～4英寸非硅/MEMS微纳加工实验线（东区实验室），部分设备可实现8英寸基片加工。平台拥有电子束曝光系统（EBL）、双束聚焦离子束系统（FIB）、双面对准紫外光刻机（3台）、热压/紫外纳米压印系统、涂胶显影系统（3套）、氧化扩散炉（5管，2套）、多晶硅/氮化硅LPCVD炉（2管）、快速热处理设备（3台）、湿法清洗刻蚀台（12台套）、Ni/FeNi/Cu/Au/Sn金属微电铸/电镀系统（3台套）、多靶磁控溅射系统（4台套）、超高真空磁控溅射系统、OLED器件加工与封装系统（1台套）、等离子辅助化学气相沉积系统（PECVD，2台套）、原子层沉积系统（ALD，1台套）、金属/介质/深硅反应离子刻蚀系统（RIE，4台套）、基片抛磨设备、砂轮切片系统、场发射扫描电镜、原子力显微镜、半导体参数测试仪（2套）、霍尔效应仪、四探针测试仪、表面轮廓仪（3台）、紫外膜厚仪等先进的微纳加工与测试设备，总资产达9000多万元。

AEMD平台在上海交大各级领导和部门的大力支持下，成为支撑我校多学科发展的重要支撑平台，提高了交大大型仪器的利用水平，并为跨学科的交叉研究、国内外的合作提供了平台；平台也向社会相关科研机构与企业公开开放，提供相关项目合作与微纳加工服务。现因平台发展需要，特向社会招聘以下工作人员。

 

招聘岗位：深紫外光刻工艺技术人员

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

招聘条件：

1. 研究生教育学历,硕士学位；
2. 3年以上FAB光刻工艺和设备维护经验，熟悉stepper（有佳能 DUV光刻机使用或维护经验者优先考虑），tracker机台使用和维护；
3. 有较强的组织、协调与沟通能力，有良好的团队合作精神和踏实认真的工作态度；独立工作分析和解决问题的能力；
4. 身体健康，热爱科研，有较强的工作责任心。

岗位职责：

1. 负责光刻设备运行现场的维护管理工作，制定科学可行的运维计划，做好设备运行记录；
2. 通过故障处理、维护保养等，保证所属设备的正常运转，满足生产研发需求。维护设备稳定性，减少工艺缺陷；
3. 负责光刻工艺技术研发，评估验证光刻设备和材料，开发与设备适配的工艺，减少工艺缺陷，改进工艺条件，维护工艺稳定；
4. 协助实验室其他相关工作，完成领导交办的其他任务。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

招聘岗位：深紫外光刻设备技术人员

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

招聘条件：

1. 研究生教育学历,硕士学位；
2. 3年以上FAB光刻工艺和设备维护经验，熟悉stepper（有佳能 DUV光刻机使用或维护经验者优先考虑），tracker机台使用和维护；
3. 有较强的组织、协调与沟通能力，有良好的团队合作精神和踏实认真的工作态度；独立工作分析和解决问题的能力；
4. 身体健康，热爱科研，有较强的工作责任心。

岗位职责：

1. 负责光刻设备运行现场的维护管理工作，制定科学可行的运维计划，做好设备运行记录；
2. 通过故障处理、维护保养等，保证所属设备的正常运转，满足生产研发需求。维护设备稳定性，减少工艺缺陷；
3. 负责光刻工艺技术研发，评估验证光刻设备和材料，开发与设备适配的工艺，减少工艺缺陷，改进工艺条件，维护工艺稳定；
4. 协助实验室其他相关工作，完成领导交办的其他任务。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

招聘岗位：离子注入工艺技术人员

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

招聘条件：

1. 研究生教育学历,硕士学位；
2. 熟悉基础的半导体制造的工艺流程，熟悉微纳米器件的加工流程；
3. 熟悉离子注入机半导体设备，并能熟练操作离子注入机设备，如果有SMIT系列机台经验者更佳；
4. 较强的微电子相关专业的知识背景，有国内外大学或科研机构、企业工作经历者优先考虑（含博士后研究工作经历），年龄不超过35岁；
5. 专业要求：微电子、材料等相关专业；
6. 有很强的责任心和良好团队合作与沟通能力。

岗位职责：

1. 负责设备的安装调试，能够解决基础的设备故障，能进行简单的日常设备保养，保证所属设备的正常运转；
2. 负责离子注入工艺的优化，新工艺条件的开发；
3. 维护所属设备稳定性，减少工艺缺陷，提高成品率，协助进行相关问题的调查和解决；
4. 协助厂务部门进行设备维修保养，保证设备的稳定性；
5. 协助实验室其他相关工作，完成领导交办的其他任务。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

招聘岗位：化合物半导体分子束外延技术人员

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

招聘条件：

1. 研究生教育学历,硕士学位；
2. 熟悉基础的半导体制造的工艺流程，熟悉微纳米器件的加工流程；
3. 熟悉化合物半导体分子束外延（MBE）设备，并能熟练操作化合物半导体分子束外延设备，如果有Octoplus 500系列机台经验者更佳；
4. 较强的微电子相关专业的知识背景，有国内外大学或科研机构、企业工作经历者优先考虑（含博士后研究工作经历），年龄不超过35岁；
5. 专业要求：微电子、材料等相关专业；
6. 有很强的责任心和良好团队合作与沟通能力。

岗位职责：

1. 负责设备的安装调试，能够解决基础的设备故障，能进行简单的日常设备保养，保证所属设备的正常运转；
2. 负责化合物半导体分子束外延工艺的优化，新工艺条件的开发；
3. 维护所属设备稳定性，减少工艺缺陷，提高成品率，协助进行相关问题的调查和解决；
4. 协助厂务部门进行设备维修保养，保证设备的稳定性；
5. 协助实验室其他相关工作，完成领导交办的其他任务。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

招聘岗位：电镀技术人员

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

招聘条件：

1. 研究生教育学历,硕士学位；
2. 微电子学与固体电子学、电子科学与技术、化学、电化学、物理学、材料学、机械、环境等相关专业，本科及以上学历；
3. 有扎实的化学基本知识，熟悉使用实验室设备及化学实验操作；
4. 有相关电子电镀、半导体、表面处理工作经验者优先考虑；
5. 工作认真、踏实，动手能力强，做事细心；
6. 善于独立思考问题，能很好的与人沟通、协调。

岗位职责：

1. 负责AEMD电镀工艺（镀铜、镀金、镀镍等）相关设备的操作、日常管理、及维护等工作；
2. 负责电镀液的分析、检测和维护，处理数据及撰写报告；
3. 负责湿法区安全管理和化学品、化学废品的管理和处理；
4. 测量和分析电镀结果，质量异常的跟踪及解决；
5. 根据科研需求研发新镀种；
6. 领导交办的其他相关工作。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

招聘岗位：设备维修技术人员（组长岗）

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

招聘条件：

1. 大学本科(简称“大学”)及以上学历,学士及以上学位；
2. 有电子，电气工程、真空电子技术背景相关学科本科以上毕业；
3. 有电子仪器维修经验及真空系统设备维护保养经验；
4. 有半导体企业和科研院所设备工程师工作三年以上经验，尤其有大型设备如步进式光刻机、分子束外延（MBE）和各类刻蚀机维修经验的优先；
5. 有很强的责任心和良好团队合作与沟通能力；
6. 有电工证等及其它相关执业证书者优先。

岗位职责：

1. 全面负责AEMD平台工艺、测试设备及其附属设备的维护、保养和维修工作，以及建立设备维修档案，申报维修基金；
2. 全面负责平台实验室视频监控系统，配电系统、暖通空调机组、CDA系统、水、电、照明、FFU等系统的电气部分的维修保养；
3. 全面负责设备定位及二次配规划和实施，负责设备资料的整理归档及管理；
4. 协助厂务工程师解决厂务设备包括暖通、工艺排废装置及其它动力设备的性能检测和运行中的故障排除；
5. 协助工艺工程师建立设备操作规程及建立设备周期保养方案；
6. 负责平台厂务设备、工艺设备、测试设备耗材、备品备件的采购计划及采购和备件库管理；
7. 领导交办的其它事项。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

招聘岗位：设备维修技术人员

招聘人数：1 名

聘用方式：劳动聘用

招聘条件：

1. 大学本科(简称“大学”)及以上学历,学士及以上学位；
2. 有电子，电气工程、真空电子技术背景相关学科本科以上毕业；
3. 有电子仪器维修经验及真空系统设备维护保养经验；
4. 有半导体企业和科研院所设备工程师工作二年以上经验，尤其有大型设备如步进式光刻机、分子束外延（MBE）和各类刻蚀机维修经验的优先；
5. 有很强的责任心和良好团队合作与沟通能力；
6. 有电工证等及其它相关执业证书者优先。

岗位职责：

1. 负责AEMD平台工艺、测试设备及其附属设备的维护、保养和维修工作；
2. 负责平台实验室视频监控系统，配电系统、暖通空调机组、CDA系统、水、电、照明、FFU等系统的电气部分的维修保养；
3. 负责设备定位及二次配实施，负责设备资料的收集归档及管理；
4. 协助厂务工程师解决厂务设备包括暖通、工艺排废装置及其它动力设备的性能检测和运行中的故障排除；
5. 协助工艺工程师建立设备操作规程及建立设备周期保养方案；
6. 负责平台厂务设备、工艺设备、测试设备备品备件的采购和备件库管理；
7. 领导交办的其它事项。

岗位待遇：参照学校及学院相关规定执行/面议

 

联系人：韩老师

TEL：34207734-8009； E-mail：xiaojiahan@sjtu.edu.cn

联系地址：上海市东川路800号微电子大楼103室