【2016-10-18】基于数字全息技术的MEMS全息测振分析与四维形貌测量技术
【AEMD系列技术研讨会】 基于数字全息技术的MEMS全息测振分析与四维形貌测量技术 各位老师、同学： 2016年10月18日星期二下午13:30在微电子大楼401会议室，召开AEMD系列技术研讨会——基于数字全息技术的MEMS全息测振分析与四维形貌测量技术，相关信息如下。欢迎全校相关学科的老师与同学参加！ 报告时间：2016年10月18 日星期二13:30 报告地点：微电子大楼401会议室 个人简介： 谢申奇，博士，瑞士洛桑联邦理工大学EPFL微电子与微系统专业，毕业于复旦大学微电子学系，主要从事微纳米加工及应用研究，瑞士Lyncee Tec公司市场销售经理。 Lyncée Tec 位于国际奥利匹克之都——瑞士洛桑，是一家拥有全球分销网络、以科技创新推动、以客户需求至上的高科技公司。本公司拥有革命性专利技术“数字全息显微术(Digital Holographic Microscopy (DHM®)”，是目前市场上唯一同时提供专业型透射式和反射式数字全息显微镜的公司。 讲座简介： 数字全息显微镜（Digital Holographic Microscopy, 简称DHM）是数字全息技术在显微领域的应用，也被称为全息显微术。与其他显微技术相比，DHM并不直接记录被观测物体的图像，而是记录含有被观测物体波前信息的全息图，再通过计算机对所记录的全息图进行数值重建来得到被测物体的相位和振幅（光强）信息，进而完成数字三维重构。打个形象的比方来理解数值重建这个过程，就是利用计算机算法代替传统光学显微镜中的成像透镜。DHM拥有与激光干涉一样的纵向皮米级测量精度，同时得益于其非扫描全视场成像机制，DHM能够在视频速率30帧/秒下实现实时三维动态成像（更确切的说是四维成像），而利用超高速相机，甚至能达到1000帧/秒的抓取速率。DHM在记录全息图时也记录下了图上每个像素点的三维信息，因此能够实现对每个像素点的三维同步实时跟踪，在测量微系统与微机电系统MEMS的多维振动应用上体现了独一无二的优势。对于离面（Out-of-plane）运动的测量达到了MEMS多普勒激光测振仪（也被称为MEMS分析仪）的精度，而对于面内（In-plane）运动的测量精度则远远超过目前市场上其他MEMS分析仪的测量精度，达到了1纳米。