【AEMD系列技术研讨会】 MOCVD（金属有机物化学气相沉积）原理及其在材料、电子及光电子材料与器件方面的应用 各位老师、学生： 2016年8月5日星期五13:30在微电子大楼103会议室，召开AEMD系列技术研讨会——德国Aixtron关于MOCVD（金属有机物化学气相沉积）原理及其在材料、电子及光电子材料与器件方面的应用，欢迎有兴趣的师生前往。 先进电子材料与器件校级平台 二零一六年八月三日
吴旦副校长一行慰问AEMD平台暑期工作的老师 7月26日下午，副校长吴旦、工会主席贾金平、资实处处长赵震老师，冒着酷暑高温，专程至AEMD平台慰问暑期工作的老师们。 梁国恩老师向吴副校长一行汇报了AEMD平台暑期的实验预约、设备运行和人员安排情况。吴副校长对平台老师们认真负责的工作态度表示肯定，并叮嘱大家注意安全生产和身体健康。吴副校长、贾主席、赵处长还分别将防暑降温慰问品送到每一位老师手上，鼓励老师们继续努力，不断提升技术和服务水平。
关于AEMD平台常压氧化扩散炉和低压化学气相沉积炉管开放试运行的通知 各位老师、同学： 为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台购置的常压氧化扩散炉管和低压化学气相沉积炉管已完成安装调试，从2016年7月19日起开放运行，各位用户老师、学生可预约使用，特此公告。 常温氧化扩散炉管设备介绍： 样品尺寸：3寸、4寸以及6寸硅片（圆片）的氧化扩散工艺，每次最多可以处理50片硅片。 工艺温度800度到1150度。 氧化炉：可通过干氧和湿氧的方式生长二氧化硅，厚度从100nm到2um. 硼扩散工艺炉管：可通过溴化硼进行高温硼扩散工艺，从而达到掺杂的目的。 磷扩散工艺炉管：可通过三氯氧磷进行高温磷扩散工艺，从而达到掺杂的目的。 低压化学气相沉积炉管设备介绍： 样品尺寸：3寸、4寸以及6寸硅片（圆片）的低压化学气相沉积工艺，每次最多可以处理50片硅片。 工艺温度500度到800度。 氮化硅炉管：可通过低压化学气相沉积方式沉积氮化硅薄膜，厚度从100nm到2um. 多晶硅炉管：可通过低压化学气相沉积方式沉积多晶硅薄膜，厚度从100nm到2um，同时可以通过工艺实现掺磷（多晶硅炉管尚处于调试中，开放时间另行通知）。 先进电子材料与器件校级平台 二零一六年七月十九日
关于AEMD平台RTP-CT150M快速退火炉开放运行的通知 各位老师、同学： 为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台购置的RTP-CT150M快速退火炉已完成安装调试，从2016年7月18日起开放运行，各位用户老师、学生可预约使用，特此公告。 快速退火炉设备介绍： 样品尺寸：6寸以及以下样品（包含不规则尺寸样品）的快速热退火处理工艺， 以红外线卤素灯管为热源，上下腔壁同步辐射加热硅片，达到快速而且均匀的热处理。 工艺温度500度到1150度。 控温：具备热电偶以及红外高温计双重控温模式，控温精度更高。 精确度：温度精确性可达1%， 工艺重复性：+/-2度。 先进电子材料与器件校级平台 二零一六年七月十八日
AEMD平台2016年暑假工作安排 各位用户师生们： 为确保暑期科研工作正常进行，根据《上海交通大学关于2016年暑假工作安排的通知》的要求，我平台所有工作人员在7月25日前正常上班，7月25日至9月7日开始实行轮休。轮休期间，正常上班时间为上午8:30-11:30，下午1:30-4:30。9月8日起全体人员恢复正常工作时间上班。 为保障用户师生们在暑假期间各项科研工作的正常开展，请各位按照暑假工作安排进行提前预约。具体暑假工作安排请见附件表格。 特此通知。 附件：《AEMD平台2016年暑假工作安排表》 先进电子材料与器件（AEMD）校级平台 2016年7月15日
关于AEMD平台EBL设备恢复原价的通知 尊敬的各位用户： 为保证AEMD平台的加工测试项目及收费适应平台的发展，经过仔细调研和认真讨论之后，AEMD平台电子束光刻系统（EBL）自2016年5月起恢复原价，还请知晓！ 先进电子材料与器件校级平台 二零一六年五月一日
关于AEMD平台EBL设备恢复原价的通知 尊敬的各位用户： 为保证AEMD平台的加工测试项目及收费适应平台的发展，经过仔细调研和认真讨论之后，AEMD平台电子束光刻系统（EBL）自2016年5月起恢复原价，还请知晓！ 先进电子材料与器件校级平台 二零一六年五月一日
关于AEMD平台2016年劳动节放假安排的通知 各位老师、同学： 根据《国务院办公厅关于2016年部分节假日安排的通知》，结合AEMD工作实际，经研究决定，现将AEMD平台2016年劳动节放假安排通知如下： 一、2016年劳动节：5月1日放假， 5月2日（周一）补休。5月3日起恢复正常运行。 二、2016年4月29日AEMD平台于16:00关闭实验室，并进行安全检查及实验室物资清算。请各位师生提前做好实验安排，自行调整实验进度。 三、放假期间，AEMD平台各部门单位要认真做好值守应急、安全保卫等工作，确保全平台师生员工过好祥和平安的假日。 AEMD平台联系电话： 34206187-6000（东区）、34207734-8000（西区） 保卫处值班电话：54749110 特此通知 先进电子材料与器件（AEMD）校级平台 2016年4月25日
关于AEMD平台FIB设备恢复原价的通知 尊敬的各位用户： 为保证AEMD平台的加工测试项目及收费适应平台的发展，经过仔细调研和认真讨论之后，AEMD平台场发射电子束/聚焦离子束双束系统（FIB）自2016年4月起恢复原价，还请知晓！ 先进电子材料与器件校级平台 二零一六年四月一日
关于AEMD平台FIB设备恢复原价的通知 尊敬的各位用户： 为保证AEMD平台的加工测试项目及收费适应平台的发展，经过仔细调研和认真讨论之后，AEMD平台场发射电子束/聚焦离子束双束系统（FIB）自2016年4月起恢复原价，还请知晓！ 先进电子材料与器件校级平台 二零一六年四月一日