综合实验楼净化室并入AEMD平台宣布大会顺利召开(2014-07-09)

2014年7月9日上午在综合实验楼2号楼102会议室召开了关于综合实验楼净化室并入AEMD平台相关事宜的宣布大会。电子信息与电气工程学院党委书记苏跃增、微纳电子学系党委书记杨春生、微纳电子学系实验室主任赵小林、先进电子材料与器件平台主任苏翼凯、常务副主任程秀兰出席了此次会议。 会议伊始,苏跃增书记宣布原综合实验楼净化室与AEMD平台合并,由AEMD平台统一管理。近期将由AEMD平台进行人员、设备、场地等各方面的整体合并。 之后,AEMD平台常务副主任程秀兰就关于综合实验楼净化室并入AEMD平台相关事宜作了具体时间节点的安排。为方便未来管理,命名AEMD原净化室为“AEMD平台西区净化室”,原综合实验楼净化室为“AEMD平台东区净化室”。 会议最后,由AEMD平台主任苏翼凯宣布任命凌行老师为“AEMD平台东区实验室主管”,主管AEMD平台东区实验室常规事务。

中国科学院吴一戎院士一行视察AEMD平台(2014-05-15)

2014年5月15日上午,中国科学院吴一戎院士一行莅临视察指导上海交大先进电子材料与器件平台。期间,平台副主任程秀兰携平台人员热情欢迎,向吴院士汇报了AEMD平台的基本功能介绍。吴院士一行还参观了AEMD净化室,包括净化室中控室、净化室走道及净化室外围等。最后,吴院士就净化室的建设情况给予了积极肯定和鼓励,并且进一步指导了AEMD平台下一步工作方向和要点。

“985工程”三期“先进电子材料与器件”项目顺利验收(2014-04-29)

4月29日在学校的组织下召开了985三期项目验收会,我平台“先进电子材料与器件”项目进行了验收汇报。与会评审专家组包括两名校内专家和三名校外专家,学校各职能部处包括985工程办公室、资产管理与实验室处 、财务处、审计处、科学技术发展研究院也列席参加。 项目负责人毛军发院长做了详细汇报后,专家组对本项目进行了审查,最终宣布项目圆满完成建设任务,达到了预期目标,同意通过项目验收,并且一致建议学校继续在未来给予更大支持。

【AEMD系列技术研讨会】Plasma-Therm Technical Workshop 顺利举行(2014-04-25)

2014年4月25日,由上海交通大学AEMD平台与Plasma-Therm公司联合举办的Plasma-Therm Technical Workshop在上海交大电信学院3-200会议室顺利举行。 本次研讨会由Plasma-Therm Technical Workshop公司的David Lishan博士为我们作了多个非常精彩的报告,报告吸引了共计50余名参会人员,其中有来自交大电院、物理系、微纳院、密西根学院、农生院的师生,以及外单位例如浙江大学、苏州能讯高能半导体、博恩世通光电科技、豪威光电子等诸多同行。

【2014-04-25】Plasma-Therm Technical Workshop

  Plasma-Therm Technical Workshop: Fundamentals of Plasma Processing (Etching and Deposition) April 25, 2014 (Friday), 8:00am to 5:30pm Room 3-200 SEIEE Building, 800 Dong Chuan Rd, Shanghai 地址:上海市闵行区东川路800号电院群楼3号楼200室 The workshop will focus on the fundamentals of plasma etching and deposition. Lectures will include the basics of plasma reactors and mechanisms for etching and deposition and…

AEMD平台人员赴荷兰Vistec公司考察设备(2014-04-20)

2014年4月11日至4月20日,AEMD平台领导及相关设备负责人员赴荷兰Vistec公司考察我平台购置的电子束光刻系统的制造安装进度,并且接受了原厂的培训。电子束光刻系统设备是我平台相当重要的一台大型设备,该设备对整个学校相关领域的科研水平的提升起到至关重要的作用。 上图为AEMD平台人员与荷兰Vistec公司设备工程师合影留念