KLA-TencorP7台阶仪(表面轮廓仪)

（KLA-Tencor P7 Surface Profiler）

主要技术指标/Specifications:

  1. 自动样品台，闭环自动移动范围150mmx150mm，可做2D应力测试。

Automatic sample table;

XY axis moving range: 150mm*150mm

Capability of 2D stress test.

  1. 沟道或台阶测试时, 垂直测量范围1mm以内。

Vertical measure range: <1mm

  1. 超微力传感器,0.5mg到50mg可调。

Ultramicro force:0.5-50mg controllable

  1. 基片尺寸：支持6 英寸以下5、4、3英寸以及破片

Sample size: 6” and below.

主要用途/Applications:

台阶或沟道深度测量，测量精度和重复性好，可做有机薄膜厚度测试。

        Surface channel depth, profile or roughness measurement. Capability with organic film measurement.

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