HARRICK等离子清洗机（表面改性）

（HARRICK Plasma Cleaner）

主要技术指标/Specifications:

  1. 工作气体：氧气、氮气或氮氧混合气体等。

The working gas: O2, N2 and Mixed gas

  1. 功率三档：7.16W、10.15W、29.6W可调。

Power selection: 7.16W、, 10.15W、, 29.6W

  1. 基片尺寸：支持6英寸以下5、4、3英寸以及破片

Sample size: Less than 6 inches.

主要用途/Applications:

衬底表面改性处理

Substrate surface modification

HARRICK等离子清洗机（表面改性）