Laurell  650-8N高性能涂胶机

（Laurell 650-8N Spin-coater）

主要技术指标/Specifications:

  1. 最高转速： 12000 rpm

Maximum spin speed: 12000rpm

  1. 转速精度：+/- 0.5rpm

Speed accuracy: +/- 0.5rpm

  1. 厚度均匀性：~1% (Resist  S1805, 0.5 um)

Thickness uniformity: ~1% (Resist  S1805, 0.5 um)

  1. 旋涂尺寸:Min. 3mm; Max.: ø200 or 7″×7″ (178mm; Max.:

Substrate size: :Min. 3mm; Max.: ø200 or 7″×7″ (178mm; Max.:.

主要应用：

        半导体光刻工艺中光刻胶旋涂。

        Spin- coating resist on the substrate.

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