SUSS高性能涂胶机I

（SUSS Spin-coater）

主要技术指标/Specifications:

  1. 支持衬底尺寸：2”,3”,4”,6”及碎片

Substrate size:2”,3”,4”,6”and piece parts.

  1. 最快转速：8000rpm

Maximum spin speed: 8000rpm

  1. 转速准确度：+/- 1rpm

Speed accuracy: +/- 1rpm

  1. 厚度均匀性：2% (Resist AZ5214E, 1 um)

Thickness uniformity: 2% (Resist AZ5214E, 1 um)

  1. 可编辑recipe，每个Recipe最多可编辑40步。

Recipe step: maxmum 40 steps for each recipe.

主要用途/Application:

        半导体光刻工艺中光刻胶旋涂。

        Spin coating photoresist on the substrate.

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