SVS OV-12　HMDS 烘箱

（Vacuum oven）

主要技术指标（ Specifications）:

  1. 温度范围：RT～200℃

Temperature range: ambient to 200 ℃

  1. 温度偏差：＋/-2℃@100℃

Temperature variation： ＋/-2℃ @100℃

  1. 温度波动范围：+/-0.4℃

Temperature uniformity：+/-0.4℃

  1. 加热时间：72min @RT~100℃

Ramp up rate：72min @ ambient to 100℃.

主要用途/Applications:

半导体光刻工艺中硅片表面改性；增加光刻胶对硅片的黏附性。

        Improving the adhesion between SiO2 (or glass,Si) surfaces and the photoresist.

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