BINDER氮气烘箱
( BINDER Nitrogen Oven)
主要技术指标/Specifications:
- 高纯氮气保护，有效保护硅片
High-purified nitrogen protection
- 内腔容积：53L
Chamber size: 53L
- 温控范围：室温~300℃
Temperature range：~300℃
主要用途/Applications:
用于湿法清洗工艺后对硅片残留水分的烘干，是湿法工
艺必备的辅助工艺设备。
Wafer dryer for wet-bench process.
