CDEResMap四探针电阻率/方块电阻测试仪

(CDEResMap Four Probe Resistance Tester）

主要技术指标/Specifications:

  1. 薄膜电阻测量范围: 10-5Ω.cm~105Ω.cm

Resistance test: 10-5Ω.cm ~ 105Ω.cm

  1. 方块电阻测量范围:10-3Ω/□至106Ω/□

Sheet resistance test:10-3Ω/□ to 106Ω/□

  1. 晶片直径: 50至200mm,可测量不规则硅片

Diameter of wafers: 50 to200mm

  1. 具有2D、3D Mapping的数据分析功能。

With 2D and 3D mapping and data analysis function。

  1. 具有测试数据自动导出功能。

With test data export function。

主要用途/Applications:

测量电阻率及方块电阻（只测量非金属薄膜，避免设备污染）。

Used for non-metal material resistance measurement.

CDE ResMap四探针电阻率 方块电阻测试仪