THERMO高温退火炉

(THERMO RTP)

主要技术指标/Specifications:

  1. 温度范围：100°C~1200°C

Temperature range：100°C~1200°C

  1. 内腔容积：55.3L，腔体氮气保护

Chamber size：55.3L, Nitrogen protection

  1. 温控精度为±0.1%

Temperature accuracy: ±0.1%

主要用途/Applications:

可用于高温（300~1200 度）的热处理工艺，也可用于离子注入后激活，

硅片退火等工艺。

Rapid Thermal annealing process.

THERMO高温退火炉