关于AEMD平台西区MA6光刻机设备维护的通知

尊敬的各位用户老师、学生：

AEMD平台西区MA6光刻机设备光源故障，现暂停使用，给您带来不便，还请见谅！相关预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及学生，谢谢！

先进电子材料与器件校级平台

 二零一六年十二月十九日