关于AEMD平台RTP-CT150M快速退火炉开放运行的通知

各位老师、同学：

为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台购置的RTP-CT150M快速退火炉已完成安装调试，从2016年7月18日起开放运行，各位用户老师、学生可预约使用，特此公告。

快速退火炉设备介绍：

样品尺寸：6寸以及以下样品（包含不规则尺寸样品）的快速热退火处理工艺， 以红外线卤素灯管为热源，上下腔壁同步辐射加热硅片，达到快速而且均匀的热处理。

工艺温度500度到1150度。

控温：具备热电偶以及红外高温计双重控温模式，控温精度更高。

精确度：温度精确性可达1%， 工艺重复性：+/-2度。

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二零一六年七月十八日