关于AEMD平台RTP-CT150M快速退火炉开放运行的通知

关于AEMD平台RTP-CT150M快速退火炉开放运行的通知 各位老师、同学： 为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台购置的RTP-CT150M快速退火炉已完成安装调试，从2016年7月18日起开放运行，各位用户老师、学生可预约使用，特此公告。 快速退火炉设备介绍： 样品尺寸：6寸以及以下样品（包含不规则尺寸样品）的快速热退火处理工艺， 以红外线卤素灯管为热源，上下腔壁同步辐射加热硅片，达到快速而且均匀的热处理。 工艺温度500度到1150度。 控温：具备热电偶以及红外高温计双重控温模式，控温精度更高。 精确度：温度精确性可达1%， 工艺重复性：+/-2度。   先进电子材料与器件校级平台 二零一六年七月十八日