关于NMC深硅刻蚀设备恢复对外开放使用的通知

关于NMC深硅刻蚀设备恢复对外开放使用的通知 各位尊敬的用户老师、学生：         AEMD平台西区NMC深硅刻蚀设备已完成维护恢复对外开放使用。SPTS深硅刻蚀仍在维护中。在此期间，给您带来不便，还请见谅！感谢您对AEMD平台的关注！   先进电子材料与器件校级平台 二零一五年十二月三十一日