关于NMC深硅刻蚀及SPTS深硅刻蚀设备维护的通知

各位尊敬的用户老师、学生：

        AEMD平台西区NMC深硅刻蚀及SPTS深硅刻蚀因射频故障现暂停使用，给您带来不便，还请见谅！设备恢复后会及时通知各位用户老师及学生，谢谢！

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二零一五年十二月二十五日