Laurell 650-8N高性能涂胶机
（Laurell 650-8N Spin-coater）
主要技术指标/Specifications:
- 最高转速： 12000 rpm
Maximum spin speed: 12000rpm
- 转速精度：+/- 0.5rpm
Speed accuracy: +/- 0.5rpm
- 厚度均匀性：~1% (Resist S1805, 0.5 um)
Thickness uniformity: ~1% (Resist S1805, 0.5 um)
- 旋涂尺寸:Min. 3mm; Max.: ø200 or 7″×7″ (178mm; Max.:
Substrate size: :Min. 3mm; Max.: ø200 or 7″×7″ (178mm; Max.:.
主要应用：
半导体光刻工艺中光刻胶旋涂。
Spin- coating resist on the substrate.
