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关于规范AEMD平台预约及实验操作流程的通知

尊敬的各位用户老师、学生：

  为规范平台设备使用预约及实验操作流程，特作以下说明，从即日起开始实施：

• 设备预约至少提前一天，即在每日下午16:30之前发送预约邮件至aemd@sjtu.edu.cn邮箱中，预约次日的实验。
• 邮件预约格式规范如下，请各位师生按照本格式预约，以免影响实验安排。

邮件主题：【预约】设备名称+平台账户+预约人姓名

内容：

注：

1. 设备实际使用时间由平台按照预约次序顺延安排，安排完毕后将邮件通知预约人，原则上不接受任何加急处理；
2. 如需同时预约多台设备，请按顺序填写，并在备注栏中告知是否需要同时安排；
3. 实验操作如需进入净化间，需在预约时告知人数及具体事由；
4. 磁控溅射及电子束蒸发需告知溅射蒸发材料及厚度；
5. SEM扫描电镜需告知最大放大倍数、预估使用时间；
6. AFM原子力显微镜需告知测试内容、模式；
7. 光刻需告知是否需要套准、全套工艺或仅曝光，正胶、负胶厚度；
8. 干法刻蚀需告知刻蚀材料、刻蚀深度及刻蚀面积比；
9. 湿法刻蚀需告知样品材料、尺寸、前道工艺及所用化学品。

• 实验当天，请根据安排时间先到西区微电子大楼103室或东区综合实验楼1-201室，填写设备使用登记表（一式三份），凭设备使用登记表联系相关工艺负责老师进行实验。
• 实验完成后，由工艺老师签核，并检查表格是否填写完整，用户是否签字确认，第一联交由平台存档，第二联工艺老师存档，第三联用户保留。
• 预约相关负责人及联系方式：

西区预约负责人：沈贇靓老师；联系方式：34207734-8001。

东区预约负责人：蒋为桥老师，联系方式：34206126-6008。

                                  先进电子材料与器件（AEMD）校级平台

二零一五年十月二十二日