关于规范AEMD平台预约及实验操作流程的通知

table,th,td { border:2px solid black; } 关于规范AEMD平台预约及实验操作流程的通知 尊敬的各位用户老师、学生：   为规范平台设备使用预约及实验操作流程，特作以下说明，从即日起开始实施： 设备预约至少提前一天，即在每日下午16:30之前发送预约邮件至aemd@sjtu.edu.cn邮箱中，预约次日的实验。 邮件预约格式规范如下，请各位师生按照本格式预约，以免影响实验安排。 邮件主题：【预约】设备名称+平台账户+预约人姓名 内容： 序号 预约人 姓名 平台账户 设备名称 实验内容 样品数 预约使用时间 联系电话 是否需要 进入净化间 （如需进入，告知几人进入及具体事由） 备注 及其他要求 1 注： 设备实际使用时间由平台按照预约次序顺延安排，安排完毕后将邮件通知预约人，原则上不接受任何加急处理； 如需同时预约多台设备，请按顺序填写，并在备注栏中告知是否需要同时安排； 实验操作如需进入净化间，需在预约时告知人数及具体事由； 磁控溅射及电子束蒸发需告知溅射蒸发材料及厚度； SEM扫描电镜需告知最大放大倍数、预估使用时间； AFM原子力显微镜需告知测试内容、模式； 光刻需告知是否需要套准、全套工艺或仅曝光，正胶、负胶厚度； 干法刻蚀需告知刻蚀材料、刻蚀深度及刻蚀面积比； 湿法刻蚀需告知样品材料、尺寸、前道工艺及所用化学品。 实验当天，请根据安排时间先到西区微电子大楼103室或东区综合实验楼1-201室，填写设备使用登记表（一式三份），凭设备使用登记表联系相关工艺负责老师进行实验。 实验完成后，由工艺老师签核，并检查表格是否填写完整，用户是否签字确认，第一联交由平台存档，第二联工艺老师存档，第三联用户保留。 预约相关负责人及联系方式： 西区预约负责人：沈贇靓老师；联系方式：34207734-8001。 东区预约负责人：蒋为桥老师，联系方式：34206126-6008。                        …