【AEMD平台微纳技术系列讲座】第七讲 | 离子束刻蚀/离子铣技术原理与应用实例

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2022-06-09

【AEMD平台微纳技术系列讲座】

【讲座时间】2022年6月10日(周五) 19:00-20:30

【报告人】汪亚光(微士贸易(上海)有限公司，销售经理)

【讲座内容】在微纳加工中，离子束刻蚀具有极高的刻蚀分辨率，刻蚀图形的台阶倾角可以控制，这是ICP和RIE刻蚀无法做到的。讲座基于离子束刻蚀与反应离子束刻蚀的原理，介绍离子束刻蚀实例：倾斜光栅刻蚀、磁性传感器刻蚀等，并介绍前沿的离子束刻蚀技术及离子束刻蚀设备相关的最新工艺。

（扫码入会）

腾讯会议号： 780-3798-6336

会议密码：2022

【讲座预告】

6月14日第八讲 | 激光直写设备灰阶应用说明介绍（14:00~15:30） 6月17日第九讲 | 3D光刻和3D微打印的多用途工具（14:00~15:30） 6月21日第十讲 | 基于热扫描探针技术的先进2D&3D纳米器件的制备与应用（19:00~20:30）

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