关于AEMD平台EBL和FIB设备调整优惠的通知 尊敬的各位用户： 为保证AEMD平台的加工测试项目及收费适应平台的发展，经过仔细调研和认真讨论之后，AEMD平台最新收费标准已于2016年1月14日正式发布给平台账户负责人，并于2016年2月1日起执行，同时电子束光刻系统（EBL）及场发射电子束/聚焦离子束双束系统（FIB）相应调整优惠价格，实行最新收费标准的八折，于2016年2月1日起实行！欢迎广大用户师生前来使用！ 先进电子材料与器件校级平台 二零一六年一月二十五日
晟碟信息科技(上海)有限公司“校企实验室研发合作”奖授予AEMD平台 2016年1月21日，晟碟信息科技(上海)有限公司为感谢AEMD平台在其产品研发上予以的支持，特制“校企实验室研发合作”奖杯以示感谢。平台党支部书记程秀兰研究员代表平台受奖，并表示能为校外科研技术提供支持是平台一直秉承的宗旨，平台会一直为校内外微纳技术的发展提供支持！ 晟碟信息科技(上海)有限公司成立于1988年，现在已经成为世界上最大的闪存卡及相关产品的供应商。 该公司设计、研发、制造及销售的闪存卡广泛应用于多种电子系统及数码产品。同时服务于消费者（通过1000，000个分散在世界各地的零售点）和原始设备制造商。很多行业知名企业都在使用SanDisk授权的技术。
浙江省化工研究院有限公司一行来访洽谈相关合作项目 2016年1月13日，浙江省化工研究院有限公司张建君常务副总、张金柯经理至AEMD平台参观。双方就目前的某科研项目进行技术交流，张总表示平台的科研能力已达到一定的高度，并表示会与平台继续合作研发。平台常务副主任程秀兰研究员对于浙江化工院的支持表示感谢，同时也对平台之后的发展及技术能力表达充分的信心。 浙江省化工研究院有限公司（简称“浙化院”）前身为浙江化工试验所，始建于1950年1月，诞生在浙江大学内，由我国化工教育先驱、化学工程奠基人李寿恒创办。浙化院是中化蓝天的重要科研开发平台，是目前浙江省内规模最大的科研开发类院所，是我国唯一的国家消耗臭氧层物质(ODS)替代品工程技术研究中心、国家南方农药创制中心浙江基地的依托单位。
关于SPTS深硅刻蚀设备恢复对外开放使用的通知 各位尊敬的用户老师、学生： AEMD平台西区SPTS深硅刻蚀设备已完成维护恢复对外开放使用。在此期间，给您带来不便，还请见谅！感谢您对AEMD平台的关注！ 先进电子材料与器件校级平台 二零一六年一月八日
关于AEMD平台2016年寒假工作安排的通知 尊敬的各位老师、同学： 根据《上海交通大学关于2016年寒假工作安排的通知》，结合AEMD工作实际，经研究决定，现将AEMD平台2016年寒假工作安排通知如下： 一、为确保寒假期间教学、科研工作正常进行，同时合理分配和利用实验资源，平台于1月27日16:00起暂停对外加工与测试服务，并于2月18日恢复所有的设备工作状态，处理相关预约邮件，于2月19日始正常对外加工与测试服务。 二、平台净化间在1月21日至1月27日上班时间为上午8:30-11:30，下午1:30-4:30。 三、放假期间，AEMD平台各部门单位要认真做好值守应急、安全保卫等工作，确保全平台师生员工过好祥和平安的假日。 AEMD平台联系电话： 34206187-6000（东区）、34207734-8000（西区）； 保卫处值班电话：54749110； 相关报警电话：110 、119、120； 平台消防安全应急人员电话：梁国恩 13524740000转613752。 特此通知 先进电子材料与器件校级平台 二零一六年元月四日
关于NMC深硅刻蚀设备恢复对外开放使用的通知 各位尊敬的用户老师、学生： AEMD平台西区NMC深硅刻蚀设备已完成维护恢复对外开放使用。SPTS深硅刻蚀仍在维护中。在此期间，给您带来不便，还请见谅！感谢您对AEMD平台的关注！ 先进电子材料与器件校级平台 二零一五年十二月三十一日
AEMD平台防化装备使用演练 为了进一步加强AEMD平台安全工作，增强平台师生消防安全意识，做到在发生化学品泄漏时，能临危不乱，有序、迅速地使用防化服装备，确保生命安全和平台的消防安全。AEMD平台于2015年12月25日开展了一次防化装备使用演练。 AEMD平台厂务工程师兼安全员韩永来老师教官现场演示了防化服的穿戴，并由厂务助管梁国恩老师计时，确保化学品泄漏时能及时穿戴使用防化服，做到切实有效安全防护。 这次防化装备消防演练活动的顺利完成，强化了师生的安全意识，使抽象的安全演练变成具体的实战演习，切实加强了平台的安全教育工作，为创建“平安和谐”的平台提供夯实基础。
关于NMC深硅刻蚀及SPTS深硅刻蚀设备维护的通知 各位尊敬的用户老师、学生： AEMD平台西区NMC深硅刻蚀及SPTS深硅刻蚀因射频故障现暂停使用，给您带来不便，还请见谅！设备恢复后会及时通知各位用户老师及学生，谢谢！ 先进电子材料与器件校级平台 二零一五年十二月二十五日
关于AEMD平台2016年元旦放假安排的通知 各位老师、同学： 根据《国务院办公厅关于2016年部分节假日安排的通知》，结合AEMD工作实际，经研究决定，现将AEMD平台2016年元旦放假安排通知如下： 一、2016年元旦放假调休共3天(1月1日至3日)。1月4日起恢复正常运行。 二、2015年12月31日AEMD平台于16:00关闭实验室，并进行安全检查及实验室物资清算。请各位师生提前做好实验安排，自行调整实验进度。 三、放假期间，AEMD平台各部门单位要认真做好值守应急、安全保卫等工作，确保全平台师生员工过好祥和平安的假日。 AEMD平台联系电话：34206187-6000（东区）、34207734-8000（西区） 保卫处值班电话：54749110 特此通知 先进电子材料与器件（AEMD）校级平台 2015年12月25日
Zeiss Ultra Plus场发射扫描电子显微镜 （Zeiss Ultra Plus Field Emission Scanning Electron Microscope） 主要技术指标/Specifications: 分辨率：≤0.8nm@15V，≤1.6nm@1kV Resolution: ≤0.8nm@15V，≤1.6nm@1kV 加速电压：0.02kV-30kV，优异的低电压性能适合观察导电性较差的样品； Acceleration Voltage: 0.02kV-30kV, the excellent low-KV image favors the observation of sample that conducts electricity poorly. 探测器: 极靴内高效二次电子探测器及能量选择背散射电子探测器，样品室内高效二次电子探测器及角度选择背散射电子探测器，能同时获得二次电子图像和背散射电子像。 Detectors: In-lens EsB detector with filtering gird (0-1500V), high efficiency in-lens SE detector, chamber mounted Everhart-Thornley detector, integrated ASB detector 样品台：最大样品尺寸Φ200mm，5轴电动优中心样品台，可倾斜范围为-3～70°，连续旋转360°。…