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2014年4月25日,由上海交通大学AEMD平台与Plasma-Therm公司联合举办的Plasma-Therm Technical Workshop在上海交大电信学院3-200会议室顺利举行。 本次研讨会由Plasma-Therm Technical Workshop公司的David Lishan博士为我们作了多个非常精彩的报告,报告吸引了共计50余名参会人员,其中有来自交大电院、物理系、微纳院、密西根学院、农生院的师生,以及外单位例如浙江大学、苏州能讯高能半导体、博恩世通光电科技、豪威光电子等诸多同行。
Plasma-Therm Technical Workshop: Fundamentals of Plasma Processing (Etching and Deposition) April 25, 2014 (Friday), 8:00am to 5:30pm Room 3-200 SEIEE Building, 800 Dong Chuan Rd, Shanghai 地址:上海市闵行区东川路800号电院群楼3号楼200室 The workshop will focus on the fundamentals of plasma etching and deposition. Lectures will include the basics of plasma reactors and mechanisms for etching and deposition and…
2014年4月11日至4月20日,AEMD平台领导及相关设备负责人员赴荷兰Vistec公司考察我平台购置的电子束光刻系统的制造安装进度,并且接受了原厂的培训。电子束光刻系统设备是我平台相当重要的一台大型设备,该设备对整个学校相关领域的科研水平的提升起到至关重要的作用。 上图为AEMD平台人员与荷兰Vistec公司设备工程师合影留念
2014年4月10日下午,校后勤保障处姚仁忠处长一行前来微电子大楼视察AEMD平台净化工程外围绿化及地面设施,现场解决了AEMD周边绿化美化方案,并对AEMD平台周边地面设施的设置给予了相关意见和建议。
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2014年4月4日上午,接待浙江大学参观团一行,介绍了AEMD净化室的基本结构、建设过程等内容,并就浙江大学新筹建的类似净化室进行交流。
2014年3月31日下午,闵行区消防支队马哲警官(中校)及其助手来AEMD现场进行消防设施勘察,AEMD净化工程建设方中电四公司的项目经理胡勇建经理做消防主要答问,消防科朱汉忠老师、所骋老师全程陪同,AEMD平台程秀兰老师、梁国恩老师作补充介绍。 勘察期间,马警官对AEMD净化工程整体情况作了进一步了解,与我项目人员就消防安全设施方面进行了沟通,并提出了一些专业意见。
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2014年3月26日上午,电信学院副院长郁文贤等一行人访问AEMD平台,就AEMD平台近况、项目进展等事宜进行了热烈的讨论。