关于AEMD平台西区MA6光刻机设备维护的通知

尊敬的各位用户老师、学生：

AEMD平台西区MA6光刻机设备因chuck工作台故障现暂停使用，给您带来不便，还请见谅！相关预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及学生，谢谢！

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 二零一六年十一月二十九日