微透镜加工工艺

（Fabrication of Microlens Array）

微透镜阵列是由微米级透镜组成的阵列。它不仅具有传统透镜的聚焦、成像等基本功能，并且单元尺寸小、集成度高，因此能够完成传统光学元件无法完成的功能，并能构成许多新型的光学系统。

AEMD平台采用国际先进的微纳加工技术，以成熟的热回流、干法刻蚀等技术为基础，研发生产高质量微透镜阵列。

微透镜阵列的应用：

1. 光信息处理、光计算、光互连、光数据传输
2. 复印机、图像扫描仪、传真机、照相机
3. 医疗卫生器械

AEMD现有样品：

AEMD平台研发的微透镜阵列加工能力：

1. 微透镜单元尺寸覆盖几微米至数百微米，通常为10μm～300μm。
2. 透镜形状可以为圆形、四边形、六边形及其他用户定制的形状。
3. 透镜材料可选择石英、硅、聚合物以及光刻胶等。
4. 基底材料可以为玻璃、硅、石英、金属、集成电路晶圆等。
5. 加工面积：最大加工面积为6英寸，并向下兼容破片。

平台可提供定制化服务，根据客户的应用条件和环境变量，设计各类材料或参数的微透镜阵列。具体可联系工艺工程师咨询。

工艺工程师：

姓名：刘丹；邮箱：liudanqh@sjtu.edu.cn；电话：021-34207734-8012